Уведомления
Авторизуйтесь или зарегистрируйтесь, чтобы оценивать материалы, создавать записи и писать комментарии.
Авторизуясь, вы соглашаетесь с правилами пользования сайтом и даете согласие на обработку персональных данных.
В ННГУ открыли новые возможности для современной микроэлектроники
Ученые НИФТИ ННГУ совместно с учеными из Красноярского Института Физики имени Л. В. Киренского СО РАН и Сибирского федерального университета продемонстрировали, что ионная имплантация полупроводниковых материалов может быть эффективной без последующего отжига. Результат исследования открывает новые технологические возможности для современной микроэлектроники.
Ионная имплантация – облучение пучками ускоренных ионов поверхности материалов, которое позволяет сформировать у них заданные свойства. Легирование полупроводников методом ионной имплантации (введения примесей в материал) – один из ключевых технологических процессов в электронике.
При имплантации кристаллических полупроводников их обычно ориентируют так, чтобы большинство ионов не попадали в так называемые «каналы», которые существуют в кристаллах между цепочками атомов. Это связано с тем, что при попадании ионов в каналы трудно получить определенную глубину проникновения примесных атомов. Другая особенность традиционной имплантационной технологии – проведение отжига. При нагреве атомы вводимой примеси занимают определенные места в кристаллической решетке, где они активируются – приобретают способность захватить, или отдать электрон.
Ученые ННГУ провели имплантацию ионов галлия в монокристаллический кремний, не препятствуя ионам двигаться по «каналам». А затем, не проводя отжига, использовали метод импедансной спектроскопии. Он позволяет определять энергетические уровни примесных атомов в полупроводниках, а значит и степень их электрической активности. Оказалось, что атомы галлия даже в отсутствие отжига проявляют электрическую активность. Исследование опубликовано в международном журнале Materials Letters, который освещает передовые разработки в области материаловедения.
Алена Никольская, один из авторов проекта, сотрудник Лаборатории физики и технологии тонких пленок НИФТИ ННГУ рассказывает: «В ряде случаев отжиг нежелателен, так как он может приводить к ухудшению свойств материала. Поэтому результаты нашего исследования могут сыграть важную роль в производстве. Мы установили возможность легирования материалов без последующего отжига. Для этого нужно ориентировать кристалл так, чтобы максимальное количество ионов двигалось по каналам.
Хотя при этом глубина, на которую проникают ионы, становится менее управляемой, для ряда полупроводниковых приборов, например детекторов заряженных частиц, важно сохранение свойств материала, таких как время жизни неосновных носителей заряда на большой глубине. Исключив отжиг, мы можем сохранить этот важный параметр и тем самым повысить рабочие характеристики устройства».
Ученые планируют детально исследовать влияние условий каналирования при ионной имплантации полупроводников и проверить результативность этого подхода для ионов различных химических элементов в разных режимах ионного легирования.
Telegram 
Дзен 
VK Самая большая планета в Солнечной системе, всегда поражавшая воображение своими колоссальными размерами, немного сдала позиции. Новые высокоточные измерения орбитального зонда NASA показали, что Юпитер не такой большой и круглый, как считали астрономы последние 40 лет.
Во время недавних наблюдений карликовой планеты Квавар что-то неожиданно почти полностью закрыло ее собой. Астрономы уверены, что это не ее спутник Вейвот и не одно из двух известных колец этого маленького мира на краю Солнечной системы.
Ученые обнаружили, что общепринятые константы, с помощью которых химики предсказывают свойства молекул, содержали ошибки. Исправленные значения констант теперь объясняют ранее непонятные химические аномалии и позволяют предсказывать свойства новых материалов для квантовых технологий, датчиков и умных покрытий.
Исследования самодержавия могут пролить свет на феномен, исконно свойственный российской государственности, а значит, переосмыслить исторический путь России и выработку новых направлений развития, к такому выводу пришел ученый ТюмГУ.
Самая большая планета в Солнечной системе, всегда поражавшая воображение своими колоссальными размерами, немного сдала позиции. Новые высокоточные измерения орбитального зонда NASA показали, что Юпитер не такой большой и круглый, как считали астрономы последние 40 лет.
Ученые обнаружили, что общепринятые константы, с помощью которых химики предсказывают свойства молекул, содержали ошибки. Исправленные значения констант теперь объясняют ранее непонятные химические аномалии и позволяют предсказывать свойства новых материалов для квантовых технологий, датчиков и умных покрытий.
Исследования самодержавия могут пролить свет на феномен, исконно свойственный российской государственности, а значит, переосмыслить исторический путь России и выработку новых направлений развития, к такому выводу пришел ученый ТюмГУ.
Третий известный межзвездный объект 3I/ATLAS летит примерно вдвое быстрее обоих своих предшественников. По расчетам, его вряд ли могло выбросить из родной планетной системы с подобной скоростью, и так разогнаться по пути он тоже не мог.
Все больше покупателей начинают отказываться от привычки делать покупки на маркетплейсах, а число новых продавцов на площадках практически не увеличилось. Аналитика показывает, что за первый квартал 2025 года — прирост селлеров составил всего 0,45% по сравнению с аналогичным периодом прошлого года. В то же время, маркетплейсы активно расширяют сеть пунктов выдачи, особенно в регионах, где физическое присутствие всех брендов невозможно. Ученые Пермского Политеха рассказали, почему люди стали реже совершать покупки на маркетплейсах.
Вы попытались написать запрещенную фразу или вас забанили за частые нарушения.
Понятно
Из-за нарушений правил сайта на ваш аккаунт были наложены ограничения. Если это ошибка, напишите нам.
Понятно
Наши фильтры обнаружили в ваших действиях признаки накрутки. Отдохните немного и вернитесь к нам позже.
Понятно
Мы скоро изучим заявку и свяжемся с Вами по указанной почте в случае положительного исхода. Спасибо за интерес к проекту.
Понятно