В ННГУ открыли новые возможности для современной микроэлектроники
Ученые НИФТИ ННГУ совместно с учеными из Красноярского Института Физики имени Л. В. Киренского СО РАН и Сибирского федерального университета продемонстрировали, что ионная имплантация полупроводниковых материалов может быть эффективной без последующего отжига. Результат исследования открывает новые технологические возможности для современной микроэлектроники.
Ионная имплантация – облучение пучками ускоренных ионов поверхности материалов, которое позволяет сформировать у них заданные свойства. Легирование полупроводников методом ионной имплантации (введения примесей в материал) – один из ключевых технологических процессов в электронике.
При имплантации кристаллических полупроводников их обычно ориентируют так, чтобы большинство ионов не попадали в так называемые «каналы», которые существуют в кристаллах между цепочками атомов. Это связано с тем, что при попадании ионов в каналы трудно получить определенную глубину проникновения примесных атомов. Другая особенность традиционной имплантационной технологии – проведение отжига. При нагреве атомы вводимой примеси занимают определенные места в кристаллической решетке, где они активируются – приобретают способность захватить, или отдать электрон.
Ученые ННГУ провели имплантацию ионов галлия в монокристаллический кремний, не препятствуя ионам двигаться по «каналам». А затем, не проводя отжига, использовали метод импедансной спектроскопии. Он позволяет определять энергетические уровни примесных атомов в полупроводниках, а значит и степень их электрической активности. Оказалось, что атомы галлия даже в отсутствие отжига проявляют электрическую активность. Исследование опубликовано в международном журнале Materials Letters, который освещает передовые разработки в области материаловедения.
Алена Никольская, один из авторов проекта, сотрудник Лаборатории физики и технологии тонких пленок НИФТИ ННГУ рассказывает: «В ряде случаев отжиг нежелателен, так как он может приводить к ухудшению свойств материала. Поэтому результаты нашего исследования могут сыграть важную роль в производстве. Мы установили возможность легирования материалов без последующего отжига. Для этого нужно ориентировать кристалл так, чтобы максимальное количество ионов двигалось по каналам.
Хотя при этом глубина, на которую проникают ионы, становится менее управляемой, для ряда полупроводниковых приборов, например детекторов заряженных частиц, важно сохранение свойств материала, таких как время жизни неосновных носителей заряда на большой глубине. Исключив отжиг, мы можем сохранить этот важный параметр и тем самым повысить рабочие характеристики устройства».
Ученые планируют детально исследовать влияние условий каналирования при ионной имплантации полупроводников и проверить результативность этого подхода для ионов различных химических элементов в разных режимах ионного легирования.
Telegram 
Дзен 
VK Генетика интеллекта сложна и связана с разными психоневрологическими состояниями. Оказалось, то, что повышает эрудицию, может ухудшать способность решать творческие задачи, — и наоборот. Причем паттерны этих связей уникальны для каждого диагноза.
Ученые давно сделали вывод о том, что в поздней Античности монеты перестали представлять собой цену как валюта, однако не было понятно когда именно это произошло. Новое исследование погребения римского воина из бельгийского форта Оденбург показало, в какой момент монеты стали цениться просто весом металла в кошельке.
Полифенолы и другие соединения заваренного кофе в лабораторной модели связывались с ядерным рецептором NR4A1, который участвует в ответе клеток на стресс, воспаление и повреждение. Вещества меняли активность рецептора и тормозили рост опухолевых клеток, а при подавлении рецептора эффект слабел. Ученые предложили молекулярное объяснение части полезных эффектов кофе, но не проверяли их у людей.
Генетика интеллекта сложна и связана с разными психоневрологическими состояниями. Оказалось, то, что повышает эрудицию, может ухудшать способность решать творческие задачи, — и наоборот. Причем паттерны этих связей уникальны для каждого диагноза.
Ученые давно сделали вывод о том, что в поздней Античности монеты перестали представлять собой цену как валюта, однако не было понятно когда именно это произошло. Новое исследование погребения римского воина из бельгийского форта Оденбург показало, в какой момент монеты стали цениться просто весом металла в кошельке.
На границе возможностей оптоволокна лазерный пучок самоорганизовывается в мощный, сфокусированный луч-иглу. Параметры этого излучения таковы, что позволяют в реальном времени без дополнительных ухищрений рассматривать клеточные процессы.
В последнее время пуски с российских северных космодромов осуществляют без предварительного уведомления, чего не было в прошлом. Вероятно, дело в недавно упомянутых главой «Роскосмоса» атаках на Плесецк во время пуска. Сегодняшний запуск обеспечил вывод на орбиту космических аппаратов военного назначения.
Четыре человека, летящие к Луне, столкнулись с целым рядом мелких неприятностей — от низкой температуры в начале работы до поломки мочевыводящей системы туалета на вторые сутки и необходимости взамен пользоваться пакетами. К счастью, пока самые крупные сложности удалось компенсировать. Но все они вместе могут сдвинуть ситуацию к решению, о котором Naked Science уже говорил в нашем видеоподкасте о миссии: не исключено, что при высадке астронавтов на Луне их корабль состыкуют со Starship не на окололунной, а уже на околоземной орбите.
Когда международная экспедиционная группа, исследующая море Уэдделла в Антарктиде на борту ледокола «Поларштерн», попыталась укрыться от шторма, ученые и экипаж судна удивились внезапному появлению острова, не обозначенного ни на одной морской карте.
Вы попытались написать запрещенную фразу или вас забанили за частые нарушения.
Понятно
Что-то в вашем комментарии показалось подозрительным, поэтому перед публикацией он пройдет модерацию.
Понятно
Из-за нарушений правил сайта на ваш аккаунт были наложены ограничения. Если это ошибка, напишите нам.
Понятно
Наши фильтры обнаружили в ваших действиях признаки накрутки. Отдохните немного и вернитесь к нам позже.
Понятно
Мы скоро изучим заявку и свяжемся с Вами по указанной почте в случае положительного исхода. Спасибо за интерес к проекту.
Понятно