• Добавить в закладки
  • Facebook
  • Twitter
  • Telegram
  • VK
  • Печать
  • Email
  • Скопировать ссылку
27.07.2016, 05:02
sergey oglodkov
288

Травление упростило создание «высоких» транзисторов

Американские инженеры разработали технологию изготовления полевых транзисторов модифицированным методом FinFET с заключением полупроводника в строго вертикальной гладкой оболочке. Результаты исследования опубликованы в журнале Electron Device Letters.

Травление упростило создание «высоких» транзисторов – иллюстрация к материалу на Naked Science
/ Автор: Caristania Fabricius

FinFET — технология производства транзисторов путем бомбардировки полупроводниковой пластины высокоэнергетическими ионами. Результатом FinFET является трехмерное устройство с заключенными в вертикальную оболочку полупроводниками — так называемыми «плавниками». Методика является альтернативой вырезанию матриц из утолщенных пластин и послойной укладке полупроводников и потенциально позволяет повысить производительность вычислительных машин.

 

Применение FinFET ограничено несовершенством создаваемых на чипе «плавников». Относительно матрицы они находятся под углом, меньшим, чем необходимые для надежной работы 90 °, кроме того, обработка ионами деформирует поверхность полупроводника, в результате на ней возникают неровности, а риск утечки тока возрастает.

 

В новой работе ученые использовали собственный алгоритм производства полевых транзисторов — металл-ассистированное химическое травление (MacEtch). Эта методика была разработана авторами ранее для работы с кремнием. MacEtch представляет собой влажное травление полупроводника в химическом растворе, разъедающем наложенный металлический шаблон (в данном случае из фосфида индия с золотом) во всех направлениях и главным образом — сверху вниз. Направленность обеспечивает формирование гладких и ровных «плавников» с углом, близким к прямому.

 

«Проводимость одного очень высокого “плавника” идентична показателю нескольких коротких. Благодаря усовершенствованию транзистора мы сэкономим и пространство», — сообщил соавтор исследования И Сон.

 

В настоящее время инженеры работают над адаптацией технологии к кремниевой матрице. Несмотря на то, что будущее — за составными полупроводниками, кремний остается отраслевым стандартом, поэтому важно, чтобы MacEtch оказалось совместимо с существующими производственными процессами, отметила руководитель работы Сюлин Ли.

Нашли опечатку? Выделите фрагмент и нажмите Ctrl + Enter.
Подписывайтесь на нас в Telegram, Яндекс.Новостях и VK
Предстоящие мероприятия
21 июня, 16:10
Evgenia Vavilova

Паразитические организмы иногда не учитывают, что сами могут оказаться целью паразита более высокого уровня. Сосредотачивая все свои силы на инфицировании и размножении, они остаются беззащитными перед агрессивным специализированным нахлебником.

21 июня, 10:23
Николай Цыгикало

Интригующие испытания высотного ракетного двигателя Raptor Vacuum для корабля Starship, верхней ступени сверхракеты Илона Маска, парадоксальны. Его работа на уровне моря уже сама по себе загадка. Ведь, по классическим представлениям, высотные двигатели на уровне моря корректно не работают. А сопло RaptorVAC на наземном стенде извергает реактивную струю без всяких признаков нарушения работы. Как такое может быть?

21 июня, 15:10
Марк Чернов

Американские ученые обнаружили в Гранд-Каньоне масштабную сеть скрытых пещер и изучили подземную гидросистему, которая снабжает водой весь национальный парк. Им удалось выяснить, как именно талая вода с поверхности путешествует по этим лабиринтам. Это открытие раскрыло глаза на то, как устроено знаменитое природное чудо, и поможет защитить его от засухи и загрязнений. Ранее этот механизм оставался для исследователей неизученным.

21 июня, 16:10
Evgenia Vavilova

Паразитические организмы иногда не учитывают, что сами могут оказаться целью паразита более высокого уровня. Сосредотачивая все свои силы на инфицировании и размножении, они остаются беззащитными перед агрессивным специализированным нахлебником.

21 июня, 10:23
Николай Цыгикало

Интригующие испытания высотного ракетного двигателя Raptor Vacuum для корабля Starship, верхней ступени сверхракеты Илона Маска, парадоксальны. Его работа на уровне моря уже сама по себе загадка. Ведь, по классическим представлениям, высотные двигатели на уровне моря корректно не работают. А сопло RaptorVAC на наземном стенде извергает реактивную струю без всяких признаков нарушения работы. Как такое может быть?

21 июня, 15:10
Марк Чернов

Американские ученые обнаружили в Гранд-Каньоне масштабную сеть скрытых пещер и изучили подземную гидросистему, которая снабжает водой весь национальный парк. Им удалось выяснить, как именно талая вода с поверхности путешествует по этим лабиринтам. Это открытие раскрыло глаза на то, как устроено знаменитое природное чудо, и поможет защитить его от засухи и загрязнений. Ранее этот механизм оставался для исследователей неизученным.

10 июня, 11:51
Александр Березин

Хотя длительность помех не превышала десяти секунд, это первый известный случай такого рода. Обычно спутникам не хватает мощности для создания радиосигналов той силы, что нужна для подобных помех.

25 мая, 14:00
Андрей Серегин

В доколумбовых Андах принадлежность к правящему роду определяла доступ к земле, торговле и статусу, поэтому удержать все внутри семьи было вопросом выживания. Ученые выяснили, что элиты долины Чинча решали эту задачу самым прямым способом — заключая браки между родственниками на протяжении как минимум двух поколений.

27 мая, 17:06
Александр Березин

Вначале Reuters опубликовал статью о взаимоотношениях SpaceX и Пентагона, которую миллиардер --- традиционно для его отношений с этим изданием — назвал фейком. Опровергая ее тезисы, он обнародовал информацию, не представленную ранее публично.

[miniorange_social_login]

Комментарии

Написать комментарий
Подтвердить?
Подтвердить?
Причина отклонения
Подтвердить?
Не получилось опубликовать!

Вы попытались написать запрещенную фразу или вас забанили за частые нарушения.

Понятно
Комментарий на проверке

Что-то в вашем комментарии показалось подозрительным, поэтому перед публикацией он пройдет модерацию.

Понятно
Жалоба отправлена

Мы обязательно проверим комментарий и
при необходимости примем меры.

Спасибо
Аккаунт заблокирован!

Из-за нарушений правил сайта на ваш аккаунт были наложены ограничения. Если это ошибка, напишите нам.

Понятно
Что-то пошло не так!

Наши фильтры обнаружили в ваших действиях признаки накрутки. Отдохните немного и вернитесь к нам позже.

Понятно
Лучшие материалы
Закрыть
Войти
Ошибка авторизации
По закону на российских сайтах теперь нельзя авторизовываться с помощью иностранных сервисов. Используйте другой способ или восстановите доступ по почте.
Восстановить доступ
Войти по-другому
Вход через почту
Введите привязанную к соцсети почту, чтобы восстановить доступ или получить одноразовую ссылку для входа на сайт.
Ваша заявка получена

Мы скоро изучим заявку и свяжемся с Вами по указанной почте в случае положительного исхода. Спасибо за интерес к проекту.

Понятно