• Добавить в закладки
  • Facebook
  • Twitter
  • Telegram
  • VK
  • Печать
  • Email
  • Скопировать ссылку
27.07.2016, 05:02
sergey oglodkov
287

Травление упростило создание «высоких» транзисторов

Американские инженеры разработали технологию изготовления полевых транзисторов модифицированным методом FinFET с заключением полупроводника в строго вертикальной гладкой оболочке. Результаты исследования опубликованы в журнале Electron Device Letters.

Травление упростило создание «высоких» транзисторов – иллюстрация к материалу на Naked Science
/ Автор: Caristania Fabricius

FinFET — технология производства транзисторов путем бомбардировки полупроводниковой пластины высокоэнергетическими ионами. Результатом FinFET является трехмерное устройство с заключенными в вертикальную оболочку полупроводниками — так называемыми «плавниками». Методика является альтернативой вырезанию матриц из утолщенных пластин и послойной укладке полупроводников и потенциально позволяет повысить производительность вычислительных машин.

 

Применение FinFET ограничено несовершенством создаваемых на чипе «плавников». Относительно матрицы они находятся под углом, меньшим, чем необходимые для надежной работы 90 °, кроме того, обработка ионами деформирует поверхность полупроводника, в результате на ней возникают неровности, а риск утечки тока возрастает.

 

В новой работе ученые использовали собственный алгоритм производства полевых транзисторов — металл-ассистированное химическое травление (MacEtch). Эта методика была разработана авторами ранее для работы с кремнием. MacEtch представляет собой влажное травление полупроводника в химическом растворе, разъедающем наложенный металлический шаблон (в данном случае из фосфида индия с золотом) во всех направлениях и главным образом — сверху вниз. Направленность обеспечивает формирование гладких и ровных «плавников» с углом, близким к прямому.

 

«Проводимость одного очень высокого “плавника” идентична показателю нескольких коротких. Благодаря усовершенствованию транзистора мы сэкономим и пространство», — сообщил соавтор исследования И Сон.

 

В настоящее время инженеры работают над адаптацией технологии к кремниевой матрице. Несмотря на то, что будущее — за составными полупроводниками, кремний остается отраслевым стандартом, поэтому важно, чтобы MacEtch оказалось совместимо с существующими производственными процессами, отметила руководитель работы Сюлин Ли.

Нашли опечатку? Выделите фрагмент и нажмите Ctrl + Enter.
Подписывайтесь на нас в Telegram, Яндекс.Новостях и VK
Предстоящие мероприятия
2 мая, 16:26
Андрей Серегин

Ученые давно сделали вывод о том, что в поздней Античности монеты перестали представлять собой цену как валюта, однако не было понятно когда именно это произошло. Новое исследование погребения римского воина из бельгийского форта Оденбург показало, в какой момент монеты стали цениться просто весом металла в кошельке.

1 мая, 11:34
Понамарева Валерия

Долгое время считалось, что гигантские стрекозообразные, жившие 300 миллионов лет назад, стали такими из‑за высокого содержания кислорода. Тогда в атмосфере его было около 30% вместо сегодняшних 21%. Учёные полагали, что крупные насекомые задохнулись бы в нашей атмосфере. Но оказалось, что это не так.

2 мая, 11:29
Любовь С.

Большой взрыв мог быть не началом Вселенной, а моментом рождения самой гравитации в привычном нам виде. Новая модель предлагает иную, квантовую форму гравитации, которая могла запустить инфляцию и избавить космологию от проблемы сингулярности, где законы физики перестают работать.

28 апреля, 08:45
Максим Абдулаев

Шведские биологи отследили миграцию обыкновенного соловья с помощью миниатюрных датчиков-рюкзаков. Как оказалось, при пересечении Сахары и Аравийской пустыни птицы летят только по ночам и не ищут пищу. Соловьи преодолевают пустыню без дозаправки, полагаясь лишь на накопленный заранее жир.

26 апреля, 18:38
Любовь С.

Вода из другой звездной системы оказалась не похожа на земную: в составе третьего межзвездного объекта нашли рекордное содержание дейтерия — тяжелого изотопа водорода. Этот химический след указывает на необычные условия формирования системы, где возникла комета, и меняет представления о сценариях рождения далеких планетных систем.

28 апреля, 22:06
Evgenia Vavilova

На границе возможностей оптоволокна лазерный пучок самоорганизовывается в мощный, сфокусированный луч-иглу. Параметры этого излучения таковы, что позволяют в реальном времени без дополнительных ухищрений рассматривать клеточные процессы.

23 апреля, 18:34
Александр Березин

В последнее время пуски с российских северных космодромов осуществляют без предварительного уведомления, чего не было в прошлом. Вероятно, дело в недавно упомянутых главой «Роскосмоса» атаках на Плесецк во время пуска. Сегодняшний запуск обеспечил вывод на орбиту космических аппаратов военного назначения.

5 апреля, 15:48
Александр Березин

Четыре человека, летящие к Луне, столкнулись с целым рядом мелких неприятностей — от низкой температуры в начале работы до поломки мочевыводящей системы туалета на вторые сутки и необходимости взамен пользоваться пакетами. К счастью, пока самые крупные сложности удалось компенсировать. Но все они вместе могут сдвинуть ситуацию к решению, о котором Naked Science уже говорил в нашем видеоподкасте о миссии: не исключено, что при высадке астронавтов на Луне их корабль состыкуют со Starship не на окололунной, а уже на околоземной орбите.

10 апреля, 10:51
Татьяна Зайцева

Когда международная экспедиционная группа, исследующая море Уэдделла в Антарктиде на борту ледокола «Поларштерн», попыталась укрыться от шторма, ученые и экипаж судна удивились внезапному появлению острова, не обозначенного ни на одной морской карте.

[miniorange_social_login]

Комментарии

Написать комментарий
Подтвердить?
Подтвердить?
Причина отклонения
Подтвердить?
Не получилось опубликовать!

Вы попытались написать запрещенную фразу или вас забанили за частые нарушения.

Понятно
Комментарий на проверке

Что-то в вашем комментарии показалось подозрительным, поэтому перед публикацией он пройдет модерацию.

Понятно
Жалоба отправлена

Мы обязательно проверим комментарий и
при необходимости примем меры.

Спасибо
Аккаунт заблокирован!

Из-за нарушений правил сайта на ваш аккаунт были наложены ограничения. Если это ошибка, напишите нам.

Понятно
Что-то пошло не так!

Наши фильтры обнаружили в ваших действиях признаки накрутки. Отдохните немного и вернитесь к нам позже.

Понятно
Лучшие материалы
Закрыть
Войти
Авторизуясь, вы даете согласие на обработку персональных данных и подтверждаете ознакомление с Политикой.
Ваша заявка получена

Мы скоро изучим заявку и свяжемся с Вами по указанной почте в случае положительного исхода. Спасибо за интерес к проекту.

Понятно